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原子力顯微鏡（Atomic Force Microscope, AFM）已發(fā)展成為非常重要的具有原子級(jí)分辨的材料表面分析儀器。它能同時(shí)獲得形貌，力學(xué)、電學(xué)、磁學(xué)以及化學(xué)性能，在半導(dǎo)體行業(yè)、材料研究、納米技術(shù)和生化領(lǐng)域有廣闊的應(yīng)用。探針是儀器極其重要的配件/耗材，對(duì)AFM的分辨率、一致性有決定性的影響。國際上有7—8家企業(yè)生產(chǎn)，主要在歐洲和美國。目前市場(chǎng)已有的探針易磨損、需頻繁更換且一致性差。本項(xiàng)目提出采用一維納米線來制備高分辨功能AFM探針。納米線包括各種導(dǎo)電、磁性納米線以及碳納米管。我們生產(chǎn)的高性能探針的性能具有：分辨率極高（針尖直徑從40納米降為10納米）；使用壽命延長(zhǎng)（提高十倍以上）；后續(xù)開發(fā)包括功能探針（導(dǎo)電和磁性探針）。本項(xiàng)目產(chǎn)品已經(jīng)規(guī)模制備成功，并申請(qǐng)了2項(xiàng)國內(nèi)專利和1項(xiàng)美國專利。用戶包括清華大學(xué)、中科院等單位。中科院高能所納米安全實(shí)驗(yàn)室采用我們的碳納米管原子力顯微鏡探針，檢測(cè)的數(shù)據(jù)已經(jīng)發(fā)表在國際頂級(jí)雜志上。作為我國唯一制備AFM探針的企業(yè)，我們有希望很快占據(jù)較大的國際市場(chǎng)份額。國際市場(chǎng)每年總需求估計(jì)在10億—20億元人民幣左右，市場(chǎng)需求成長(zhǎng)高于20%。本技術(shù)后續(xù)開發(fā)產(chǎn)品包括高性能x射線源，這方面的市場(chǎng)非常大，主要用于安檢、工業(yè)探傷、醫(yī)療等。 【展開】 【收起】